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半导体材料及器件的辐射效应(中国科学院大学研究生教材)(精) 刘忠立,高见头 著 环境科学专业科技 新华书店正版图书籍

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芯片制造——半导体工艺与设备 陈译,陈铖颖,张宏怡 编 电子电路专业科技 新华书店正版图书籍 机械工业出版社

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图解入门——半导体制造工艺基础精讲（原书第4版） 佐藤淳一 著 王忆文//王姝娅 译 电子电路专业科技 新华书店正版图书籍

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图解入门 半导体制造设备基础与构造精讲(原书第3版) (日)佐藤淳一 著 卢涛 译 电信通信专业科技 新华书店正版图书籍

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